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7月1日消息,昨天有消息称,ASML旗下所有的DUV光刻机,出口都要被经过认可才可以。
对于这样的说法,也是引起了热议,不过ASML给出了回应。
ASML表示,出口管制条例只涉及部分最新DUV型号,包括TWINSCAN NXT:2000i及后续推出的浸润式光刻系统。EUV光刻机在此前已经受到限制,其他系统的发运未受管控。
此外,ASML还表示,上述规定是在9月1日才生效,而他们已经提交了许可申请。